Turbomolecular Pumping Stations
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Edwards RV 12 － 離心式泵浦
Edwards nEXT 渦輪抽氣站系列，
在經過開發後可以
帶來全方位真空解決方案，以最新的技術進展，
讓安裝與作業更為簡便。
所有 Edwards 渦輪
抽氣站都具有 TIC
渦輪與儀器控制器，讓系統透過控制器面板啟動/停止，
且能輕鬆整合 Edwards 主動式量表。
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針對您的需求量身打造：
種類繁多的渦輪分子真空泵浦與前級泵浦可供選擇
如需介於 47 l/s 至 84 l/s 之間的抽吸速度，
我們提供值得信賴的 nEXT85H 泵浦，並提供各式溼式與乾式前級
泵浦選擇，以及一部 TIC100 渦輪與儀器控制器。如需介於 240l/s 至 400l/s 之間的抽吸速度，新的渦輪
抽氣站是以 nEXT 泵浦為基礎，提供進一步的
終端使用者供給能力彈性，還可選擇前級泵浦及一部
渦輪與儀器 TIC200。
油密式
泵浦裝有 EMF 油霧過濾器 (標準配備)，而 nXDS 乾式渦捲式泵浦
在渦捲式泵浦與前級泵浦之間裝有隔離閥 (標準配備)
。
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應用方式
- 加速器
- 分析與表面物理
- 射束
- 電子束熔接
- 預載
- 高能物理
- 研發
- 表面科學
- UHV 系統
渦捲式泵浦
Edwards 了解對真空泵浦的需求，提供
客戶卓越的性能，即便是棘手的應用
情況下。基於這些原則，我們發展出 nEXT 技術
將效能最佳化，為渦捲式泵浦帶來全新體驗。
傳統渦捲式泵浦轉子的設計，是為達到高速或
高壓縮。為了造就更佳的性能，
nEXT 轉子上的葉片安排已經過完全重新設計，將泵浦效能最佳化並
達成兼具更高速與更高壓縮的目標。
最後成為同尺寸泵浦內，具有最卓越與頂級性能的
泵浦。
泵浦種類：
- nEXT85
- nEXT 240 D 或 T
- nEXT 300 D 或 T
- nEXT 400 D 或 T
前級泵浦
我們的渦輪抽氣站擁有廣泛的
前級泵浦選擇，可符合您的特殊需求。無論您是要尋求低
價的油封抽氣選擇，或是全乾式系統，我們都有適合您的
泵浦。
為什麼選擇 Edwards 的 nXDS 乾式渦捲式泵浦？
改變您的真空體驗，使用嶄新的 nXDS 乾式渦捲式泵浦，為您提供
獨特的免注油、穩健及可靠的真空解決方案。
- 無聲運作 | 改善工作環境與降低環境
影響
- 簡單易用的智慧型
控制器 | 簡易作業
- 完全密封，無須使用潤滑油的真空環境 | 無汙染且無廢棄油
- 維修間隔長與低功耗 | 低擁有成本
- 卓越的蒸氣處理能力 | 加快製程
為什麼
選擇 Edwards 的 RV 油密式泵浦？
Edwards
RV 系列的真空泵浦已成為業界標準，已賣出 150,000
部。此成就歸功於經過實地證實的設計，以及
可在廣泛應用與各種環境下使用的可靠度。
- 高蒸氣處理能力 | 加快製程
- 優異的粉塵處理能力 | 可靠度高
- 快速運作且自動的入口閥，達到最佳同等級防回抽
保護效果 | 安全的製程與系統
- 模式選擇器與雙位氣體鎮流 | 經專門設定以符合您的真空需求
- 設計上容易維護 | 無意外停機
- 無聲運轉 | 改善工作環境
泵浦種類：- nXDS 乾式渦捲式泵浦
- E2M 油密式迴轉葉片泵浦
- RV 油密式迴轉葉片泵浦
- XDD 隔膜泵浦
訂購參照表
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關於我們
F.D.Edwards 於 1939 年開始製造真空設備時，便致力於科技創新，而現今的我們也仍秉持著這個核心理念。
進一步了解我們的歷史