• Edwards 先進診斷服務

    FabWorks-iMS 先進診斷服務 (EADS) 提供多參數運算法,可預估真空泵浦與廢氣處理設備會發生哪些製程相關問題。本服務可透過下列方式,大幅降低成本並提升產能:

    • 盡可能減少報廢晶圓批次數以及機床意外停機時間;
    • 盡可能提高晶圓產量/良率;
    • 視需要提供設備維修服務,有效降低整體擁有成本 (TCO)。

    模式:
    提供一系列 FabWorks-iMS EADS 模式可供使用:

    • 乾式泵浦沈積
    • 輔助泵浦沈積
    • 廢氣處理燃燒器阻塞
    • 排氣/阱阻塞
    • 渦輪系統污染 (開發中)
    • 渦輪系統洩漏偵測 (開發中)

    每個模式皆會提供警示,通常分為兩個層級各三道警示。

    EADS_Warning_Table

  • 關於我們

    F.D.Edwards 於 1939 年開始製造真空設備時,便致力於科技創新,而現今的我們也仍秉持著這個核心理念。

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