반도체 건식 펌프

Edwards iXM 저에너지 시리즈 건식 펌프는 여러분의 가장 중요한 응용 분야에 더 길어진 작동 시간, 감소된 환경 영향 및 비용 혜택을 통해 공정에 실질적인 개선을 가져올 수 있습니다.

• 에너지 효율성의 기본 원리를 통해 투입 전력을 최대 60% 줄일 수 있습니다. 동시에 환경 영향과 보유 비용도 낮춥니다.
• 가스 장벽 기술 및 열 설계를 개선하여 부식 저항성을 이전 시리즈에 비해 네 배 강화했습니다.
• 고급 파우더 처리 기능은 다층 에칭 공정을 위한 최대의 안정성과 연장된 펌프 수명을 제공합니다 
• CVD 공정의 전력 소비 감소
• 작고 가벼운 디자인, 놀랍도록 낮은 소음과 진동이 결합되어 더욱 다용도로 이용할 수 있습니다.
• iXM 시리즈는 내부식성을 향상시키기 위해 XCEDE 기술과 함께 사용할 수 있습니다.
  
   

iXH 건식 펌프는 극심한 공정 조건에서 뛰어난 성능과 신뢰성을 발휘하고 보유비용도 낮아 건식 펌프의 새로운 기준을 제시합니다.

• 넓은 온도 범위로 응결 및 플레이팅에서 누적되는 부산물을 최소화할 수 있도록 펌프 최적화가 가능합니다.
• iXH Mk2 건식 펌프는 가장 harsh한 공정에서도 더욱 긴 서비스 수명을 제공하며 전력 효율성을 크게 개선할 수 있습니다.
• 혁신적인 펌프 밀봉 기술로 공정 수명을 연장하고 누출 위험을 줄일 수 있습니다.
• 부식 저항성 강화를 위한 Xcede 기술과 함께 이용할 수 있습니다.
  
   

iXL 시리즈는 저에너지 소형 건식 펌프로 웨이퍼 처리, PVD, 측량과 같은 경량 응용 분야에 적합합니다.

• 신속한 챔버 펌프 다운 및 매우 낮은 전력 소비량 
• iXL600(N)과 iXL1000(N) 건식 펌프는 경량 응용 분야에 사용할 수 있는 가장 작고 조용한 펌프입니다. 
• iXL600M과 iXL1000M 변형 제품들은 강화 처리되었으며 절연체(산화물) 에칭 및 기타 유사한 응용 분야용으로 특별히 설계되었습니다. 
• iXL600(N) 및 iXL1000(N) 건식 펌프는 빠른 펌핑 속도와 낮은 에너지 소비량이 특징입니다.
• iXL900R은 현재 FPD 로드락 응용 분야에서 동급 최강의 로드락 펌프입니다. 고객은 이 새로운 펌프를 사용하여 운영 비용과 설치 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 이 펌프는 특히 플라즈마 기상 증착(PVD) 응용 분야에 사용되는 가장 큰 로드락 챔버에 매우 적합합니다. 또한, 고객은 로딩 챔버당 펌프 수를 줄여 설치 시간, 시스템 비용, 유지 보수 및 유틸리티 소비를 줄일 수 있습니다.
• 친환경 모드를 이용하면 휴지 시간에 유틸리티 사용을 줄일 수 있어 비용을 절감할 수 있으며 환경 보호에 도움이 됩니다.