감마 진공 펌프 - 고진공 및 초고진공 기술  

포집 펌핑 기술은 휴대용 질량 분석기에서 대규모 입자 분석기에 이르는 다양한 응용 분야에서 HV(고진공) 및 UHV(초고진공) 환경을 생성합니다. 이 기술은 경제적인 가격으로 가장 낮은 진공 상태를 생성할 수 있습니다. 

Edwards는 다양한 이온 펌프, 타이타늄 승화 펌프, NEG(Non-Evaporable Getter) 펌프 및 부속품을 Gamma Vacuum을 통해 독점 제공합니다.

이온 펌프
이온 펌프는 스퍼터 이온 펌프 또는 이온 게터 펌프라고도 하며 양극/음극 어레이를 사용하여 가스를 이온화하는 포집 펌프입니다. 이온이 반응성 음극 물질을 스퍼터링하여, 이온화된 가스를 고체 화합물로 바꾸는 화학 반응이 생성됩니다. 이러한 화합물은 더 이상 진공 시스템의 압력에 영향을 주지 않으며 이온 펌프 내에 영구적으로 포집됩니다. 이온 펌프는 10^-5에서 10^-12mbar 사이로 작동되며 크기는 질소의 0.2 ~ 1,200l/s일 수 있습니다.

타이타늄 승화 펌프
TSP는 타이타늄 필라멘트를 가열하고 타이타늄 분자를 표면으로 승화(고체상에서 기체상으로 변환)시켜 작동합니다. 그런 다음 승화된 타이타늄 분자가 산소 및 질소와 같은 반응성 가스와 화학 반응하고 수소를 해리하여 확산시킬 수 있습니다.  TSP는 10^-5에서 10^-12mbar 사이로 작동되며 펌핑 속도는 수소의 10,000l/s 이상일 수 있습니다.

NEG(Non-Evaporable Getter) 펌프
NEG는 고체 기판에 압착하거나 디스크에 소결한 반응성 금속입니다. 특정하게 지르코늄, 바나듐 및 철을 조합하는 경우 HV 및 UHV 환경에서 최상으로 작동하는 것으로 나타났습니다. 사용된 물질의 양에 따라 NEG 펌프의 속도와 용량이 결정되지만 일반적으로 수소의 50 ~ 3,500l/s입니다. NEG가 가스로 포화되면 대기로 배기시키지 않고 재활성화할 수 있습니다.

자세한 내용은 아래에서 Gamma 제품 브로슈어를 다운로드하거나 Gamma의 웹 사이트를 참조하십시오.