Pompes UVH Gamma : technologies de vide poussé et très poussé
Les technologies de pompage à fixation permettent de créer des environnements de vide poussé (HV) et de vide très poussé (UHV) pour diverses applications, des spectromètres de masse portables aux accélérateurs de particules de grande envergure. Elles peuvent
créer le vide le plus poussé possible à moindre coût.
Edwards propose une gamme de pompes ioniques, de pompes à sublimation de titane, de pompes NEG (Non-Evaporable Getter) et d'accessoires disponibles uniquement par le biais de
Gamma Vacuum.
Pompes ioniques
Les pompes ioniques, aussi appelées « pompes ioniques à pulvérisation » ou « pompes à getter ionique » sont des pompes à fixation qui ionisent les gaz à l'aide d'un ensemble anode/cathode. Les ions diffusent des matériaux cathodes réactifs, créant une réaction chimique qui transforme les gaz ionisés en composants
solides. Ces composants ne contribuent plus à la pression du système de vide et sont capturés de manière permanente dans la pompe ionique. Les pompes ioniques fonctionnent de 10-5 à 10-12 mbar pour une capacité de 0,2 à 1 200 l/s d'azote.
Pompes à sublimation de titane
Les pompes à sublimation de titane chauffent un filament de titane et subliment (convertissent de l'état gazeux à l'état solide) les molécules de titane sur une surface. Les molécules de titane sublimées peuvent alors réagir chimiquement au contact d'autres gaz réactifs, comme l'oxygène et l'azote,
et peuvent dissocier et diffuser l'hydrogène. Les pompes à sublimation de titane fonctionnent de 10-5 à 10-12 mbar, avec des vitesses de pompage supérieures à 10 000 l/s d'hydrogène.
Pompes NEG
Les NEG sont des métaux réactifs qui ont été transformés en substrats solides, ou agglomérés en disques. Un mélange particulier de zirconium, de vanadium et de fer est ce qu'il existe de plus efficace pour les environnements de vide poussé et de vide très poussé. La
quantité de matière utilisée a un impact sur la vitesse et la capacité de la pompe NEG, dont la capacité va généralement de 50 à 3 500 l/s d'hydrogène. Lorsque les NEG sont saturés de gaz, ils peuvent être réactivés sans évacuation dans l'atmosphère.
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