Acelere la integración y mejore el funcionamiento del sistema
Las bombas de vacío CTI-Cryogenics On-Board de Edwards aceleran la integración y mejoran el funcionamiento del sistema. Son conocidas como el estándar mundial en confiabilidad y rendimiento.
Las bombas criogénicas On-Board, con sus controles totalmente integrados y periféricos de apoyo, proporcionan un tiempo de funcionamiento superior y un rendimiento consistente para aumentar la productividad general y el tiempo de funcionamiento de la herramienta.
Características clave
- Fast Regen™, capacidad que extiende el rendimiento de las bombas criogénicas entre regeneraciones
- Capacidad de regeneración simultánea, mediante la conexión en red de sus bombas criogénicas, lo que acelera la regeneración general del sistema
- Un control por microprocesador integrado para mejorar el rendimiento, realizar diagnósticos de rutina y permitir la comunicación
- Software sofisticado e interfaces de usuario gráficas fáciles de usar para mejorar significativamente el rendimiento y la operación.
| Modelo de bomba criogénica integrada | 4F | 8 | 8F | 10 | 10F | 250F | 400 | 500 |
| Velocidades de bombeo: litros/seg | ||||||||
| Vapor de agua | 1,100 | 4000 | 4000 | 9000 | 9500 | 6500 | 17500 | 30 000 |
| Aire | 370 | 1500 | 1500 | 3000 | 3600 | 2200 | 6000 | 10,000 |
| Hidrógeno | 370 | 2500 | 2200 | 5000 | 6000 | 3,200 | 12,000 | 12,000 |
| Argón | 310 | 1200 | 1200 | 2500 | 3000 | 1800 | 5000 | 8400 |
| Capacidad: litro estándar | ||||||||
| Argón | 210 | 1000 | 1000 | 2000 | 2000 | 1000 | 2500 | 6000 |
| Hidrógeno (5 x 10-6 Torr) | 3 | 17 | 12 | 24 | 24 | 16 | 42 | 45 |
| Tiempo de regeneración nominal (frío a frío) | ||||||||
| Primera y segunda etapa | 75 min | 2,5 horas | 2,5 horas | 2,5 horas | 2,5 horas | <3,3 horas | 3 horas | <3,8 horas |
| Segunda etapa | <1 hora | <1 hora | <1 hora | <1 hora | <1 hora | <1,5 horas | <1,5 horas | - |
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